沈阳芯源先进半导体技术有限公司
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  芯源公司是半导体行业设备和技术解决方案的供应商。成立于 2002 年 12 月 17 日,由中科院沈阳自动化研究所与韩国公司共同投资兴办,注册资本 420万美元,中方控股。公司总部位于沈阳,主营产品 Track system( 集成电路制造工序关键设备 ) 除应用于光刻胶的涂敷外,还可广泛应用于 PI 、 BCB 等有机介电材料的涂敷...